CIQTEK lança solução de inspeção de wafer de 12 polegadas para análise de cobertura total não destrutiva e de alta resolução
CIQTEK lança solução de inspeção de wafer de 12 polegadas para análise de cobertura total não destrutiva e de alta resolução
September 22, 2025
CIQTEK
apresentou sua próxima geração
wafer de 12 polegadas
microscópio eletrônico de varredura (MEV)
solução
, projetado para atender às demandas de processos avançados de fabricação de semicondutores. Oferecendo inspeção completa do wafer sem a necessidade de rotação ou inclinação, esta solução inovadora garante análises não destrutivas de alta resolução para apoiar o desenvolvimento de processos críticos.
Equipado com um
palco de viagem ultragrande
(X/Y ≥ 300 mm), o sistema oferece cobertura completa de wafers de 12 polegadas, eliminando a necessidade de corte ou transferência de amostras. Isso garante uma observação fiel do "tamanho original, posição original". Com um
Canhão de elétrons de emissão de campo Schottky
, atinge uma resolução de
1,0 nm
a 15 kV e 1,5 nm a 1 kV, minimizando os danos do feixe de elétrons, tornando-o ideal para materiais e estruturas sensíveis.
Principais características
incluem:
Palco de viagem ultra grande
(X/Y > 300 mm) para inspeção de wafer completo
Imagens de alta resolução
: 1,0 nm a 15 kV e 1,5 nm a 1 kV
Carregamento automatizado
e
sistema de navegação óptica
para troca rápida de wafers e posicionamento preciso
Software inteligente
para foco automático, correção de astigmatismo e saída de imagem multiformato
O SEM de inspeção de wafers de 12 polegadas da CIQTEK é mais do que apenas uma ferramenta de observação; é um instrumento essencial que gera maiores rendimentos e nós menores na fabricação de semicondutores.
26 a 30 de setembro, Wuhan
A CIQTEK irá revelar
oito soluções de microscopia eletrônica de ponta
no
Conferência Nacional Chinesa de Microscopia Eletrônica de 2025
!
Ga + Microscópio eletrônico de varredura por emissão de campo de feixe de íons focalizado O Microscópio eletrônico de varredura de feixe de íons focalizado (FIB-SEM) CIQTEK DB550 Possui uma coluna de feixe de íons focalizado para nanoanálise e preparação de amostras. Utiliza tecnologia de óptica eletrônica de "supertúnel", baixa aberração e design de objetiva não magnética, além de possuir o recurso de "baixa voltagem, alta resolução" para garantir suas capacidades analíticas em nanoescala. As colunas de íons facilitam um Ga + Fonte de íons metálicos líquidos com feixes de íons altamente estáveis e de alta qualidade para garantir capacidades de nanofabricação. O DB550 é uma estação de trabalho completa para nanoanálise e fabricação, com um nanomanipulador integrado, sistema de injeção de gás e software de interface gráfica (GUI) de fácil utilização.
Microscopia Eletrônica de Varredura por Emissão de Campo de Ultra-alta Resolução (FESEM) O CIQTEK SEM5000X É um FESEM de ultra-alta resolução com design otimizado de coluna de óptica eletrônica, reduzindo as aberrações gerais em 30% e alcançando resolução ultra-alta de 0,6 nm a 15 kV e 1,0 nm a 1 kV. Sua alta resolução e estabilidade o tornam vantajoso na pesquisa de materiais nanoestruturais avançados, bem como no desenvolvimento e na fabricação de chips de circuitos integrados semicondutores de alta tecnologia.
Ultra Alta Resolução Microscópio eletrônico de varredura de filamento de tungstênio O CIQTEK SEM3300 Microscópio Eletrônico de Varredura (MEV) incorpora tecnologias como óptica eletrônica "Super-Túnel", detectores de elétrons em lentes e lentes objetivas compostas eletrostáticas e eletromagnéticas. Ao aplicar essas tecnologias ao microscópio de filamento de tungstênio, o antigo limite de resolução desse tipo de microscópio eletrônico de varredura (MEV) é superado, permitindo que o MEV de filamento de tungstênio realize tarefas de análise de baixa voltagem, antes possíveis apenas com MEVs de emissão de campo.