CIQTEK lança solução de inspeção de wafer de 12 polegadas para análise de cobertura total não destrutiva e de alta resolução
CIQTEK lança solução de inspeção de wafer de 12 polegadas para análise de cobertura total não destrutiva e de alta resolução
September 22, 2025
CIQTEK
apresentou sua próxima geração
wafer de 12 polegadas
microscópio eletrônico de varredura (MEV)
solução
, projetado para atender às demandas de processos avançados de fabricação de semicondutores. Oferecendo inspeção completa do wafer sem a necessidade de rotação ou inclinação, esta solução inovadora garante análises não destrutivas de alta resolução para apoiar o desenvolvimento de processos críticos.
Equipado com um
palco de viagem ultragrande
(X/Y ≥ 300 mm), o sistema oferece cobertura completa de wafers de 12 polegadas, eliminando a necessidade de corte ou transferência de amostras. Isso garante uma observação fiel do "tamanho original, posição original". Com um
Canhão de elétrons de emissão de campo Schottky
, atinge uma resolução de
1,0 nm
a 15 kV e 1,5 nm a 1 kV, minimizando os danos do feixe de elétrons, tornando-o ideal para materiais e estruturas sensíveis.
Principais características
incluem:
Palco de viagem ultra grande
(X/Y > 300 mm) para inspeção de wafer completo
Imagens de alta resolução
: 1,0 nm a 15 kV e 1,5 nm a 1 kV
Carregamento automatizado
e
sistema de navegação óptica
para troca rápida de wafers e posicionamento preciso
Software inteligente
para foco automático, correção de astigmatismo e saída de imagem multiformato
O SEM de inspeção de wafers de 12 polegadas da CIQTEK é mais do que apenas uma ferramenta de observação; é um instrumento essencial que gera maiores rendimentos e nós menores na fabricação de semicondutores.
26 a 30 de setembro, Wuhan
A CIQTEK irá revelar
oito soluções de microscopia eletrônica de ponta
no
Conferência Nacional Chinesa de Microscopia Eletrônica de 2025
!
Ga + Microscópio eletrônico de varredura por emissão de campo de feixe de íons focalizado O Microscópio eletrônico de varredura de feixe de íons focalizado (FIB-SEM) CIQTEK DB550 Possui uma coluna de feixe de íons focalizado para nanoanálise e preparação de amostras. Utiliza tecnologia de óptica eletrônica de "supertúnel", baixa aberração e design de objetiva não magnética, além de possuir o recurso de "baixa voltagem, alta resolução" para garantir suas capacidades analíticas em nanoescala. As colunas de íons facilitam um Ga + Fonte de íons metálicos líquidos com feixes de íons altamente estáveis e de alta qualidade para garantir capacidades de nanofabricação. O DB550 é uma estação de trabalho completa para nanoanálise e fabricação, com um nanomanipulador integrado, sistema de injeção de gás e software de interface gráfica (GUI) de fácil utilização.
Ultra Alta Resolução Microscópio eletrônico de varredura de filamento de tungstênio O CIQTEK SEM3300 Microscópio Eletrônico de Varredura (MEV) incorpora tecnologias como óptica eletrônica "Super-Túnel", detectores de elétrons em lentes e lentes objetivas compostas eletrostáticas e eletromagnéticas. Ao aplicar essas tecnologias ao microscópio de filamento de tungstênio, o antigo limite de resolução desse tipo de microscópio eletrônico de varredura (MEV) é superado, permitindo que o MEV de filamento de tungstênio realize tarefas de análise de baixa voltagem, antes possíveis apenas com MEVs de emissão de campo.
Microscopia Eletrônica de Varredura por Emissão de Campo de Ultra-alta Resolução (FESEM) O CIQTEK SEM5000X É um FESEM de ultra-alta resolução com design otimizado de coluna de óptica eletrônica, reduzindo as aberrações gerais em 30% e alcançando resolução ultra-alta de 0,6 nm a 15 kV e 1,0 nm a 1 kV. Sua alta resolução e estabilidade o tornam vantajoso na pesquisa de materiais nanoestruturais avançados, bem como no desenvolvimento e na fabricação de chips de circuitos integrados semicondutores de alta tecnologia.