sem electron microscope

SEM de alta velocidade | HEM6000

Microscópio eletrônico de varredura de alta velocidade para imagens em escala cruzada de espécimes de grande volume

CIQTEK HEM6000 instala tecnologias como o canhão de elétrons de corrente de feixe grande de alto brilho, sistema de deflexão de feixe de elétrons de alta velocidade, desaceleração de estágio de amostra de alta tensão, eixo óptico dinâmico e lentes objetivas combinadas eletromagnéticas e eletrostáticas de imersão para obter aquisição de imagem em alta velocidade e, ao mesmo tempo, garantir resolução em nanoescala.

O processo de operação automatizado foi projetado para aplicações como um fluxo de trabalho de imagem de alta resolução em grandes áreas mais eficiente e inteligente. A velocidade de imagem pode chegar a 5 vezes mais rápida do que um microscópio eletrônico de varredura de emissão de campo convencional (FESEM).


HEM6000-Semi HEM6000-Bio HEM6000-Lit
Baixa tensão e alta resolução Baixa tensão e alta resolução Operação simplificada
Grande campo de visão Vários algoritmos automatizados para a área biológica Abundantes opções de seleção
Algoritmos especialmente otimizados para fácil alinhamento de amostras altamente repetitivas Detector BSE otimizado para aplicações biológicas Fluxo de trabalho automatizado de alta velocidade
Deflexão eletrostática de cinco estágios Sistema de reconstrução biológica 3D
  • Automação de alta velocidade
    Processo de carregamento e descarregamento de amostra totalmente automático e operação de aquisição de imagem, o que torna a velocidade geral de imagem 5 vezes mais rápida do que a do FESEM convencional
  • Grande campo de visão
    Tecnologia que muda dinamicamente o eixo óptico de acordo com a faixa de deflexão da varredura, alcança distorção mínima da borda
  • Baixa distorção de imagem
    A tecnologia de desaceleração em tandem do estágio de amostra atinge baixa energia de pouso, enquanto obtém imagens de alta resolução

High Speed SEM HEM6000

Especificações do microscópio SEM de alta velocidade CIQTEK HEM6000 HEM6000-Semi HEM6000-Bio HEM6000-Lite
Óptica Eletrônica Resolução 1,5 nm@1 kV SE 1,8 nm@1 kV BSE 1,5 nm@15 kV BSE
Tensão de aceleração 0,1 kv~6 kV (modo de desaceleração) 6 kV~30 kV (modo sem desaceleração) 6kV~30kV
Ampliação 66~1.000.000x
Arma de elétrons Pistola de elétrons de emissão de campo Schottky de alto brilho
Tipo de lente objetiva Lente objetiva combinada eletromagnética e eletrostática de imersão
Defletor Eletrostático Cinco estágios Quatro estágios Quatro estágios
Sistema de carregamento de amostras Sistema de vácuo Sistema de vácuo isento de óleo totalmente automático
Monitoramento de Amostras Câmera de monitoramento da câmara principal horizontal; câmera de monitoramento de câmara loadlock de troca de amostra vertical
Tamanho máximo da amostra 4 polegadas de diâmetro
Tipo de estágio de amostra Estágio de amostra motorizado de 3 eixos (*estágio de amostra acionado piezoelétrico opcional)
Toque de deslocamento do estágio de amostra X, Y: 110mm; Z: 16mm
Repetibilidade da etapa da amostra Xï¼±0,6 μmï¼Yï¼±0,3 μm
Troca de amostras Totalmente automático
Duração da troca de amostras <15 minutos
Limpeza da Câmara Loadlock Sistema de limpeza de plasma totalmente automático
Aquisição e processamento de imagens Tempo de permanência 10ns/pixel
Velocidade de aquisição 2*100 M pixels/s
Tamanho da imagem 16 K*16 K
Detector e Acessórios Detector de elétrons retroespalhados retrátil de baixo ângulo Opcional Nenhum Padrão
Detector de elétrons retroespalhados de baixo ângulo, montagem inferior Opcional Padrão Nenhum
Detector de elétrons geral na coluna Padrão Opcional Opcional
Detector de elétrons retroespalhados de alto ângulo em coluna Opcional Opcional Opcional
Estágio de amostra acionado piezoelétrico Opcional Opcional Opcional
Modo FOV Grande (SW) de alta resolução Opcional Nenhum Nenhum
Sistema de limpeza de plasma da câmara Loadlock Opcional Opcional Opcional
Sistema de carregamento de amostras de 6 polegadas Opcional Opcional Opcional
Plataforma antivibração ativa Opcional Opcional Opcional
Al Redução de Ruído; Costura de campo de grande área; Reconstrução 3D Opcional Opcional Opcional
Interface do usuário Idioma Inglês
SO Janelas
Navegação Navegação óptica, navegação por gestos
Função Automática Reconhecimento automático de amostra, seleção automática de área de imagem, brilho e contraste automáticos, foco automático, estigmatizador automático
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