fib sem microscopy

FIB-SEM | DB550

Microscópio eletrônico de varredura de emissão de campo (FE-SEM) com colunas de feixe de íons focados (FIB)

O microscópio eletrônico de varredura por feixe de íons focado CIQTEK DB550 (FIB-SEM) possui uma coluna de feixe de íons focado para nanoanálise e preparação de amostras. Ele utiliza tecnologia de óptica eletrônica de “supertúnel”, baixa aberração e design objetivo não magnético, e possui o recurso de “baixa tensão, alta resolução” para garantir suas capacidades analíticas em nanoescala.

As colunas de íons facilitam uma fonte de íons metálicos líquidos Ga+ com feixes de íons altamente estáveis ​​e de alta qualidade para garantir capacidades de nanofabricação. O DB550 é uma estação de trabalho completa de nanoanálise e fabricação com um nanomanipulador integrado, sistema de injeção de gás e software GUI fácil de usar.

FIB-SEM Microscopy technique highlights

Destaques técnicos do CIQTEK DB550 FIB-SEM

FIBSEM - Focused Ion Beam Column

Coluna de feixe de íons focado (FIB)

Resolução: 3 nm@30 kV

Corrente da sonda: 1 pA a 65 nA

Faixa de tensão de aceleração: 0,5 kV a 30 kV

Intervalo de troca da fonte de íons: ≥1000 horas

Estabilidade: 72 horas de operação ininterrupta


FIBSEM - Nano-manipulator

Nanomanipulador

Câmara montada internamente

Três eixos totalmente acionados piezoeletricamente

Precisão do motor de passo ≤10 nm

Velocidade máxima de deslocamento 2 mm/s

Sistema de controle integrado


FIBSEM - Ion Beam-Electron Beam Collaboration

Colaboração Feixe de Íons-Feixe de Elétrons


FIBSEM - Gas Injection System

Sistema de injeção de gás

Projeto GIS único

Várias fontes de precursores de gás disponíveis

Distância de inserção da agulha ≥35 mm

Repetibilidade de movimento ≤10 μm

Repetibilidade do controle de temperatura de aquecimento ≤0,1°C

Faixa de aquecimento: temperatura ambiente até 90°C (194°F)

Sistema de controle integrado

Semicondutor

Na indústria de semicondutores, os chips IC podem encontrar várias falhas. Vários métodos são usados ​​para analisar os chips para melhorar a confiabilidade. Em particular, a análise de feixe de íons focado (FIB) é uma técnica analítica confiável.

Caracterização de amostra / Fabricação de micro-nano / Análise de seção transversal / Preparação de amostra TEM / Análise de falha

Nova Indústria Energética

Observação e análise de seções transversais de materiais para pesquisa e desenvolvimento de processos.

Observação de morfologia/Análise de tamanho de partícula/Análise de seção transversal / Análise de composição e fase/Análise de falha de material de bateria de íon de lítio/Amostra TEM Preparação

Material cerâmico

Análise de materiais: O sistema FIB-SEM pode realizar usinagem micro-nano de alta precisão e geração de imagens de materiais cerâmicos, combinados com vários modos de detecção de sinal, como elétrons retroespalhados (BSE), espectroscopia de raios X com energia dispersiva (EDX) , padrão de difração retroespalhado de elétrons (EBSD) e espectrometria de massa de íons secundários (SIMS), para estudar o material em escala micro a nano com espaço tridimensional em profundidade.

Material de liga

Para aumentar a resistência, dureza, tenacidade, etc., dos metais, outras substâncias, como cerâmica, metais, fibras, etc., são adicionadas ao metal usando métodos como metalurgia, fundição, extrusão, etc., que são chamadas de fases reforçadas.

A amostra TEM preparada por um FIB-SEM é usada para observar informações como fases reforçadas e átomos de limite através de sinais de elétrons transmitidos. As amostras TEM podem ser usadas para análise de transmissão de difração de Kikuchi (TKD), análise metalográfica, análise de composição e testes in-situ de seção transversal de liga.

ⶠInterface gráfica do usuário

FIB-SEM software

Plataforma de interface de usuário altamente integrada

As funções de processamento e imagem do microscópio SEM são integradas em uma interface de usuário geral, com referências comparativas exibidas à esquerda e à direita.

FIB-SEM software

Hardware de acessórios autodesenvolvidos e interfaces de usuário, como sistema de injeção de gás e nanomanipulador, design intuitivo de layout para operação fácil de usar.

ⶠDetector de elétrons na lente


ⶠDetector Everhart-Thornley (ETD)


ⶠDetector retrátil de elétrons retroespalhados (BSED) *Opcional


ⶠDetector de Microscopia Eletrônica de Transmissão de Varredura (STEM) *Opcional

  • Scanning Transmission Electron Microscopy Detector (STEM)


ⶠBloqueio de carga para troca de amostra

Reduz efetivamente a contaminação da câmara Design de trilho guia linear, abertura e fechamento tipo gaveta.

  • Specimen Exchange Loadlock


ⶠAvanços na microscopia eletrônica CIQTEK - Mais opções

Espectrometria Dispersiva de Energia

  • Energy Dispersive Spectrometry

Catoluminescência

  • sem image analysis -Catholuminescence
  • sem image analysis - Catholuminescence

EBSD

Especificações CIQTEK FIB-SEM DB550
Óptica Eletrônica Tipo de arma eletrônica Pistola de elétrons de emissão de campo Schottky de alto brilho
Resolução 0,9 nm@15 kV; 1,6 nm @ 1 kV
Tensão de aceleração 0,02 kV a 30 kV
Sistema de feixe de íons Tipo de fonte de íons Gálio
Resolução 3 nm@30 kV
Tensão de aceleração 0,5 kV a 30 kV
Câmara de Amostras Sistema de vácuo Controle totalmente automático, sistema de vácuo sem óleo
Câmeras

Três câmeras

(Navegação óptica x1 + monitor de câmara x2)

Tipo de estágio Estágio de amostra eucêntrico mecânico motorizado de 5 eixos
Faixa de Estágio

X=110mm, Y=110mm, Z=65mm

T: -10°~+70°, R:360°

Detectores e extensões SEM Padrão

Detector de elétrons na lente

Detector Everhart-Thornley (ETD)

Opcional

Detector retrátil de elétrons retroespalhados (BSED)

Detector de Microscopia Eletrônica de Transmissão de Varredura Retrátil (STEM)

Espectrômetro Dispersivo de Energia (EDS/EDX)

Padrão de difração de retroespalhamento de elétrons (EBSD)

Nanomanipulador

Sistema de injeção de gás

Limpador de Plasma

Bloqueio de carregamento de troca de amostra

Painel de controle do trackball e botão

Interface do usuário Idiomas Inglês
Sistema operacional Janelas
Navegação Navegação óptica, navegação rápida por gestos
Funções Automáticas Brilho e contraste automáticos, foco automático, estigma automático
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Assunto : FIB-SEM | DB550
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