fesem edx

FESEM de resolução ultra-alta | SEM5000X

Microscopia Eletrônica de Varredura de Emissão de Campo de resolução ultra-alta (FESEM): 0,6 nm@15 kV e 1,0 nm@1 kV

O CIQTEK SEM5000X FESEM de resolução ultra-alta utiliza o processo de engenharia de coluna atualizado, tecnologia “SuperTunnel” e design de lente objetiva de alta resolução para melhorar a resolução de imagens de baixa tensão.

As portas da câmara de amostra FESEM SEM5000X se estendem até 16, e a trava de carga para troca de amostra suporta tamanho de wafer de até 8 polegadas (diâmetro máximo de 208 mm), expandindo significativamente as aplicações. Os modos de digitalização avançados e funções automatizadas aprimoradas proporcionam desempenho mais forte e uma experiência ainda mais otimizada.

Especificações CIQTEK FESEM SEM5000X

Parâmetros-chave Resolução

0,6 nm a 15 kV, SE

1,0 nm a 1 kV, SE

Tensão de aceleração 0,02~30 kV
Ampliação 1~2.500.000x
Tipo de canhão eletrônico Pistola de elétrons de emissão de campo Schottky
Câmara de Amostras
Sistema de vácuo
Controle Totalmente Automatizado
Câmeras Câmeras duplas (navegação óptica + monitor de câmara)
Tipo de estágio Estágio de amostra eucêntrica mecânica de 5 eixos
Faixa de Estágio

X=110mm, Y=110mm, Z=65mm

T: -10*~+70°, R: 360°

Detectores e extensões SEM Padrão

Detector na lente

Detector Everhart-Thornley (ETD)

Opcional

Detector retrátil de elétrons retroespalhados (BSED)

Detector de Microscopia Eletrônica de Transmissão de Varredura Retrátil (STEM)

Espectrômetro Dispersivo de Energia (EDS/EDX)

Padrão de difração de retroespalhamento de elétrons (EBSD)

Trava de carga para troca de amostra (4" e 8" opcional)

Painel de controle do trackball e botão

Desaceleração em Tandem do Estágio de Amostra

Sistema de proteção contra ruído acústico e campo magnético (certificado SEMI)

Software Idiomas

Inglês

Sistema operacional

Janelas

Navegação

Nav-Cam, navegação rápida por gestos

Funções Automáticas

Brilho e contraste automáticos, foco automático, estigma automático

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