Microscopia Eletrônica de Varredura de Emissão de Campo de resolução ultra-alta (FESEM): 0,6 nm@15 kV e 1,0 nm@1 kV
O CIQTEK SEM5000X FESEM de resolução ultra-alta utiliza o processo de engenharia de coluna atualizado, tecnologia “SuperTunnel” e design de lente objetiva de alta resolução para melhorar a resolução de imagens de baixa tensão.
As portas da câmara de amostra FESEM SEM5000X se estendem até 16, e a trava de carga para troca de amostra suporta tamanho de wafer de até 8 polegadas (diâmetro máximo de 208 mm), expandindo significativamente as aplicações. Os modos de digitalização avançados e funções automatizadas aprimoradas proporcionam desempenho mais forte e uma experiência ainda mais otimizada.
(*Acessórios opcionais para FESEM SEM5000X)
Especificações CIQTEK FESEM SEM5000X |
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Parâmetros-chave | Resolução |
0,6 nm a 15 kV, SE 1,0 nm a 1 kV, SE |
Tensão de aceleração | 0,02~30 kV | |
Ampliação | 1~2.500.000x | |
Tipo de canhão eletrônico | Pistola de elétrons de emissão de campo Schottky | |
Câmara de Amostras |
Sistema de vácuo
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Controle Totalmente Automatizado |
Câmeras | Câmeras duplas (navegação óptica + monitor de câmara) | |
Tipo de estágio | Estágio de amostra eucêntrica mecânica de 5 eixos | |
Faixa de Estágio |
X=110mm, Y=110mm, Z=65mm T: -10*~+70°, R: 360° |
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Detectores e extensões SEM | Padrão |
Detector na lente Detector Everhart-Thornley (ETD) |
Opcional |
Detector retrátil de elétrons retroespalhados (BSED) Detector de Microscopia Eletrônica de Transmissão de Varredura Retrátil (STEM) Espectrômetro Dispersivo de Energia (EDS/EDX) Padrão de difração de retroespalhamento de elétrons (EBSD) Trava de carga para troca de amostra (4" e 8" opcional) Painel de controle do trackball e botão Desaceleração em Tandem do Estágio de Amostra Sistema de proteção contra ruído acústico e campo magnético (certificado SEMI) |
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Software | Idiomas |
Inglês |
Sistema operacional |
Janelas |
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Navegação |
Nav-Cam, navegação rápida por gestos |
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Funções Automáticas |
Brilho e contraste automáticos, foco automático, estigma automático |