fesem edx

resistente ultra-alto | SEM5000X

Microscopia eletrônica de varredura de emissão de campo de resolução ultra-alta (Feseem)

O CIQTEK SEM5000X é um fesem de resolução ultra-alta com design de coluna óptica de elétrons otimizada, reduzindo as aberrações gerais em 30%, alcançando uma resolução ultra-alta de 0,6 nm a 15 kV e 1,0 nm a 1 kV Sua alta resolução e estabilidade o tornam vantajoso na pesquisa avançada de materiais nanoestruturais, bem como no desenvolvimento e fabricação de chips de IC semicondutores de nó de alta tecnologia.

●–¶ Óptica eletrônica

SEM5000X Electron Optics

Atualização de lente objetiva

A aberração cromática da lente foi reduzida em 12%, a aberração esférica da lente foi reduzida em 20%e a aberração geral foi reduzida em 30%

SEM5000X Electron Optics

Tecnologia de desaceleração de feixe duplo

Deceleração de feixe na lente, aplicável a amostras com grandes volumes, seções transversais e superfícies irregulares Tecnologia de desaceleração dupla (desaceleração de feixe na lente + desaceleração do feixe em tandem de estágio da amostra) desafia os limites dos cenários de captura de sinal de superfície da amostra


●–¶ Imagens de alta resolução de baixa tensão


●–¶ Detector / amostra de elétrons na lente


●–¶ Detector Everhart-Thornley (ETD)


●–¶ Detector de elétrons espalhados retráteis (BSED)*Opcional

FESEM Retractable Back-Scattered Electron Detector (BSED)

●–¶ Modo ECCI baseado em BSED (Imagem de contraste de canalização de elétrons)

O "efeito de canalização de elétrons" refere -se a uma redução significativa na dispersão de elétrons por treliças de cristal, quando o feixe de elétrons incidente satisfaz a condição de difração de Bragg, permitindo que um grande número de elétrons passe pela treliça, exibindo assim um efeito de "canalização"

Para materiais policristalinos com composição uniforme e superfícies planas polidas, a intensidade dos elétrons retroespalhados depende da orientação relativa entre o feixe de elétrons incidente e os planos de cristal Os grãos com maior variação de orientação exibem sinais mais fortes, portanto, são alcançadas imagens mais brilhantes, é alcançada a caracterização qualitativa com esse mapa de orientação de grãos


●–¶ Imagens simultaneamente multicanal através de vários detectores


●–¶ Detector de microscopia eletrônica de transmissão de varredura retrátil (STEM)

FESEM Retractable Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM) Detector

>> vários modos de operação: Imagem de campo brilhante (BF), imagens de campo escuro (DF), imagem anular de alto ânular (HAADF) imagens


●–¶ Avanços na microscopia eletrônica CIQTEK - Mais opções

>> Espectrometria dispersiva de energia

  • Energy Dispersive Spectrometry

>>Catoluminescência

  • sem image analysis -Catholuminescence
  • sem image analysis - Catholuminescence

>>EBSD

  • sem EBSD
  • sem EBSD

●–¶ Software de análise de partículas e poros (partícula) *Opcional

SEM Particle & Pore Analysis Software (Particle)

O software Microscope Ciqtek SEM emprega vários algoritmos de detecção e segmentação de alvos, adequados para diferentes tipos de amostras de partículas e poros Permite a análise quantitativa das estatísticas de partículas e poros e pode ser aplicada em campos como ciência dos materiais, geologia e ciência ambiental


●–¶ Software de pós-processamento de imagem*Opcional

SEM Microscope Image Post-processing Software

Execute a imagem on-line ou offline após o processamento em imagens capturadas por microscópios eletrônicos e integram funções de processamento de imagem EM comumente usadas, medição conveniente e ferramentas de anotação


●–¶ Medida automática *Opcional

SEM Microscope software Auto Measure

Reconhecimento automático das arestas da largura da linha, resultando em medições mais precisas e maior consistência Suportar vários modos de detecção de borda, como linha, espaço, afinação, etc Compatíveis com vários formatos de imagem e equipados com várias funções de pós-processamento de imagem comumente usadas O software é fácil de usar, eficiente e preciso


●–¶ Kit de desenvolvimento de software (SDK) *Opcional

SEM Microscope Software Development Kit (SDK)

Forneça um conjunto de interfaces para controlar o microscópio SEM, incluindo aquisição de imagens, configurações de condições operacionais, energia liga/desliga, controle de estágio, etc Definições concisas de interface permitem o desenvolvimento rápido de scripts específicos de operação de microscópio eletrônico e software, permitindo rastreamento automatizado de regiões de interesse, aquisição de dados de automação industrial, correção de duração de imagens e outras funções Pode ser usado para o desenvolvimento de software em áreas especializadas, como análise de diatomáceas, inspeção de impureza do aço, análise de limpeza, controle de matéria -prima etc


●–¶ AutomAp *Opcional

FESEM Microscope software Auto Measure

CIQTEK SEM5000X FESEM MICROSCOPE ESPECIFICAÇÕES
Óptica eletrônicaResolução0,6 nm a 15 kV, SE
1,0 nm a 1 kV, SE
Tensão de aceleração0 02KV ~ 30 KV
Ampliação1 ~ 2.500.000 x
Tipo de pistola de elétronsPistola de elétrons de emissão de campo schottky
Câmara de amostrasCâmerasCâmeras duplas (navegação óptica + monitor de câmara)
Tipo de estágioEstágio de amostra eucentrica mecânica de 5 eixos
Alcance de palcoX = 110 mm, y = 110 mm, z = 65 mm
T: -10*~+70 °, r: 360 °
Detectores e extensões semPadrãoDetector de lentes
Detector Everhart-Thornley (ETD)
Opcional

Detector de elétrons espalhados retráteis (BSED)

Detector de microscopia eletrônica de varredura retrátil (STEM)

Detector de baixo vácuo (LVD)

Espectrômetro Dispersivo de Energia (EDS / EDX)

Padrão de difração de retroespalhamento eletrônico (EBSD)

Carga de troca de amostras (4 polegadas / 8 polegadas)

Painel de controle de trackball e botão

Modo Duo-DeC (duo-dezembro)

Interface do usuárioIdiomasInglês
Sistema operacionalWindows
NavegaçãoNavegação óptica, navegação rápida do gesto, trackball (opcional)
Funções automáticasBrilho automático e contraste, foco automático, estigmador automático

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