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FIB-SEM | DB500

Microscópio eletrônico de varredura de emissão de campo (FE-SEM) com colunas de feixe de íons focados (FIB)

O microscópio eletrônico de varredura por feixe de íons focado CIQTEK DB500 (FIB-SEM) adota tecnologia de óptica eletrônica “SuperTunnel”, baixa aberração e design de objetivo não magnético com baixa tensão e capacidade de alta resolução para garantir a análise em nanoescala. A coluna de íons facilita uma fonte de íons metálicos líquidos Ga+ com um feixe de íons altamente estável e de alta qualidade para nanofabricação.

FIB-SEM DB500 possui um nanomanipulador integrado, sistema de injeção de gás, mecanismo elétrico anticontaminação para a lente objetiva e 24 portas de expansão, tornando-o uma plataforma versátil de nanoanálise e fabricação com configurações abrangentes e capacidade de expansão .

CIQTEK DB500 FIB-SEM Recursos <

• Tecnologia "SuperTunnel" Electron Optics com lente objetiva sem magnetismo, adequada para imagens de alta resolução e compatível com imagens de amostras magnéticas.

A coluna de feixe de íons focado (FIB) produz um feixe de íons altamente estável e de alta qualidade, adequado para nanofabricação de alta qualidade e preparação de amostras TEM.

Um manipulador acionado piezoeletricamente na câmara da amostra com um sistema de controle integrado para manuseio preciso.

Sistema desenvolvido de forma independente com forte capacidade de expansão. O design integrado do conjunto da fonte de íons para troca rápida da fonte de íons. Serviço mundial, garantia de três anos para FIB-SEM DB500.

Destaques técnicos do CIQTEK DB500 FIB-SEM

FIBSEM DB500 - Focused Ion Beam Column

Feixe de íons focado (FIB) Coluna

Resolução: 3 nm@30 kV

Corrente da sonda (faixa de corrente do feixe de íons): 1 pA~50 nA

Faixa de tensão de aceleração: 0,5~30 kV

Intervalo de troca da fonte de íons: ≥1000 horas

Estabilidade: 72 horas de operação ininterrupta


FIBSEM DB500 - Nano-manipulator

Nanomanipulador

Câmara montada internamente

Três eixos totalmente acionados piezoeletricamente

Precisão do motor de passo ≤10 nm

Velocidade máxima de deslocamento 2 mm/s

Controle integrado


FIBSEM DB500 - Ion Beam-Electron Beam Collaboration

Colaboração Feixe de Íons-Feixe de Elétrons


FIBSEM DB500 - Gas Injection System

Sistema de injeção de gás

Projeto GIS único

Várias fontes de precursores de gás estão disponíveis

Distância de inserção da agulha ≥35 mm

Repetibilidade de movimento ≤10 μm

Repetibilidade do controle de temperatura de aquecimento ≤0,1°C

Faixa de aquecimento: Temperatura ambiente ~ 90°C (194°F)

Controle integrado

Especificações CIQTEK FIB-SEM DB500
Sistema de feixe de elétrons Tipo de arma eletrônica Pistola de elétrons de emissão de campo Schottky de alto brilho
Resolução 1,2 nm@15 kV
Tensão de aceleração 0,02~30 kV
Sistema de feixe de íons Tipo de fonte de íons Fonte líquida de íons de gálio
Resolução 3 nm@30 kV
Tensão de aceleração 0,5~30kV
Câmara de Amostras Sistema de vácuo Controle totalmente automático, sistema de vácuo sem óleo
Câmeras

Três câmeras

(Navegação óptica + monitor de câmara x2)

Tipo de estágio Estágio de amostra eucêntrica mecânica de 5 eixos
Faixa de Estágio

X=110mm, Y=110mm, Z=65mm

T: -10°~+70°, R:360°

Detectores e extensões SEM Padrão

Detector na lente

Detector Everhart-Thornley (ETD)

Opcional

Detector retrátil de elétrons retroespalhados (BSED)

Detector de Microscopia Eletrônica de Transmissão de Varredura Retrátil (STEM)

Espectrômetro Dispersivo de Energia (EDS/EDX)

Padrão de difração de retroespalhamento de elétrons (EBSD)

Nanomanipulador

Sistema de injeção de gás

Limpador de Plasma

Bloqueio de carregamento de troca de amostra

Painel de controle do trackball e botão

Software Idiomas Inglês
Sistema operacional Janelas
Navegação Nav-Cam, navegação rápida por gestos
Funções Automáticas Brilho e contraste automáticos, foco automático, estigma automático
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Assunto : FIB-SEM | DB500
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