Microscópio eletrônico de varredura de emissão de campo (FE-SEM) com colunas de feixe de íons focados (FIB)
O microscópio eletrônico de varredura por feixe de íons focado CIQTEK DB500 (FIB-SEM) adota tecnologia de óptica eletrônica “SuperTunnel”, baixa aberração e design de objetivo não magnético com baixa tensão e capacidade de alta resolução para garantir a análise em nanoescala. A coluna de íons facilita uma fonte de íons metálicos líquidos Ga+ com um feixe de íons altamente estável e de alta qualidade para nanofabricação.
FIB-SEM DB500 possui um nanomanipulador integrado, sistema de injeção de gás, mecanismo elétrico anticontaminação para a lente objetiva e 24 portas de expansão, tornando-o uma plataforma versátil de nanoanálise e fabricação com configurações abrangentes e capacidade de expansão .
• Tecnologia "SuperTunnel" Electron Optics com lente objetiva sem magnetismo, adequada para imagens de alta resolução e compatível com imagens de amostras magnéticas.
• A coluna de feixe de íons focado (FIB) produz um feixe de íons altamente estável e de alta qualidade, adequado para nanofabricação de alta qualidade e preparação de amostras TEM.
• Um manipulador acionado piezoeletricamente na câmara da amostra com um sistema de controle integrado para manuseio preciso.
• Sistema desenvolvido de forma independente com forte capacidade de expansão. O design integrado do conjunto da fonte de íons para troca rápida da fonte de íons. Serviço mundial, garantia de três anos para FIB-SEM DB500.
Resolução: 3 nm@30 kV
Corrente da sonda (faixa de corrente do feixe de íons): 1 pA~50 nA
Faixa de tensão de aceleração: 0,5~30 kV
Intervalo de troca da fonte de íons: ≥1000 horas
Estabilidade: 72 horas de operação ininterrupta
Câmara montada internamente
Três eixos totalmente acionados piezoeletricamente
Precisão do motor de passo ≤10 nm
Velocidade máxima de deslocamento 2 mm/s
Controle integrado
Projeto GIS único
Várias fontes de precursores de gás estão disponíveis
Distância de inserção da agulha ≥35 mm
Repetibilidade de movimento ≤10 μm
Repetibilidade do controle de temperatura de aquecimento ≤0,1°C
Faixa de aquecimento: Temperatura ambiente ~ 90°C (194°F)
Controle integrado
CIQTEK FIB-SEM Microscópio Eletrônico de Varredura por Feixe de Íons Focado BD500 |
Demonstração Prática CIQTEK FIB-SEM - Preparação de Amostras TEM |
Especificações CIQTEK FIB-SEM DB500 | ||
Sistema de feixe de elétrons | Tipo de arma eletrônica | Pistola de elétrons de emissão de campo Schottky de alto brilho |
Resolução | 1,2 nm@15 kV | |
Tensão de aceleração | 0,02~30 kV | |
Sistema de feixe de íons | Tipo de fonte de íons | Fonte líquida de íons de gálio |
Resolução | 3 nm@30 kV | |
Tensão de aceleração | 0,5~30kV | |
Câmara de Amostras | Sistema de vácuo | Controle totalmente automático, sistema de vácuo sem óleo |
Câmeras |
Três câmeras (Navegação óptica + monitor de câmara x2) |
|
Tipo de estágio | Estágio de amostra eucêntrica mecânica de 5 eixos | |
Faixa de Estágio |
X=110mm, Y=110mm, Z=65mm T: -10°~+70°, R:360° |
|
Detectores e extensões SEM | Padrão |
Detector na lente Detector Everhart-Thornley (ETD) |
Opcional |
Detector retrátil de elétrons retroespalhados (BSED) Detector de Microscopia Eletrônica de Transmissão de Varredura Retrátil (STEM) Espectrômetro Dispersivo de Energia (EDS/EDX) Padrão de difração de retroespalhamento de elétrons (EBSD) Nanomanipulador Sistema de injeção de gás Limpador de Plasma Bloqueio de carregamento de troca de amostra Painel de controle do trackball e botão |
|
Software | Idiomas | Inglês |
Sistema operacional | Janelas | |
Navegação | Nav-Cam, navegação rápida por gestos | |
Funções Automáticas | Brilho e contraste automáticos, foco automático, estigma automático |