O microscópio eletrônico de varredura de feixe duplo FIB-SEM CIQTEK DB550 reúne imagens eletrônicas de alta resolução e processamento preciso de feixe de íons em uma única plataforma.
A CIQTEK validou seu Microscópio eletrônico de varredura com feixe de íons focalizado DB550 (FIB-SEM) em amostras reais de chips com processo de fabricação de 5nm, Demonstração de preparação de amostras TEM prontas para produção, com estruturas de aletas intactas, amorfização zero e camadas de filme claramente resolvidas. Os resultados confirmam que o DB550 atende às exigências rigorosas de laboratórios avançados de análise de falhas em semicondutores, que atuam na vanguarda da tecnologia de processos.
Na pesquisa e fabricação de chips avançados, duas ferramentas são mais importantes do que todas as outras. O Microscópio Eletrônico de Transmissão (MET) permite visualizar estruturas em escala atômica. Mas, antes de poder observar, é necessário ter uma amostra fina o suficiente para que os elétrons a atravessem. É aí que entra o FIB-SEM de feixe duplo. É o laboratório de precisão que prepara essas amostras ultrafinas.
Conheça o DB550: Uma plataforma para processamento de imagens e nanoescala.
O CIQTEK DB550 FIB-SEM Integra duas capacidades poderosas em uma única plataforma. De um lado, um microscópio eletrônico de varredura (MEV) fornece imagens de superfície de alta resolução. Do outro, um feixe de íons focalizado (FIB) realiza a remoção de material em nanoescala com precisão cirúrgica. Juntos, eles preenchem a lacuna entre a observação e a fabricação em dimensões medidas em bilionésimos de metro.
No coração do DB550 reside um coluna de elétrons de baixa voltagem e alta resolução combinado com a tecnologia proprietária da CIQTEK coluna de íons "Chengying" Desenvolvida inteiramente internamente, a coluna Chengying é o motor por trás das capacidades de corte e gravação em nanoescala do sistema. A CIQTEK controla todo o processo de projeto e fabricação deste componente crítico.
O desafio dos 5nm: por que a preparação de amostras fica mais difícil a cada nó tecnológico?
No 5nm e abaixo As arquiteturas de chips atuais dependem de transistores de efeito de campo do tipo aleta (FinFETs) com larguras e espaçamentos de aletas medidos em apenas alguns nanômetros. O DB550 foi projetado para lidar com todo o fluxo de trabalho de preparação de amostras para esses nós de processo exigentes. Ele começa com corte bruto de alta corrente para remover rapidamente o material em grande quantidade e atingir a região desejada. Em seguida, passa para polimento fino de baixa tensão para reduzir a espessura da amostra até dimensões adequadas para TEM sem danificar as estruturas delicadas subjacentes.
Validação por TEM: A prova está na imagem.
CIQTEK Preparamos uma amostra de chip com processo de fabricação de 5 nm no DB550 e a transferimos para um TEM para caracterização. Os resultados falam por si.
A caracterização por TEM de uma amostra de chip de 5 nm preparada no DB550 mostra estruturas de aletas intactas com camadas de filme claras e bem definidas e sem danos por amorfização.
As imagens TEM revelaram que As estruturas das barbatanas permaneceram completamente intactas. Após a preparação por FIB, não foi detectada amorfização na rede cristalina do silício. As camadas individuais do filme apresentaram-se nítidas. claro e nitidamente definido na seção transversal TEM. Esses resultados validam o desempenho da preparação de amostras por feixe duplo do DB550 nos nós de processo mais avançados.
Projetado para confiabilidade, construído para durar.
Os microscópios eletrônicos são a ferramenta principal em laboratórios de análise de falhas de semicondutores. A CIQTEK desenvolveu o DB550 do zero, abrangendo toda a pilha de tecnologia. hardware central para algoritmos subjacentes A coluna de íons patenteada da Chengying, a óptica eletrônica, a mecânica da plataforma e o software de controle são todos projetados e otimizados como um sistema integrado.
Possuir o projeto completo fortalece a resiliência da cadeia de suprimentos. Cada componente crítico é fornecido através do processo de desenvolvimento controlado da CIQTEK. Para laboratórios de semicondutores que dependem do tempo de atividade dos instrumentos para análise de rendimento de produção e investigação de falhas, essa previsibilidade é fundamental.
A CIQTEK oferece suporte ao DB550 com Suporte técnico contínuo, confiável e ágil. A empresa também oferece suporte de aplicativos para ajudar os laboratórios a desenvolver e otimizar receitas de preparação para novos nós de processo e arquiteturas de dispositivos inovadoras.
