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Resolução ultra-alta FESEM | SEM5000X

Microscopia eletrônica de varredura por emissão de campo de resolução ultra-alta (FESEM) desafia os limites

O CIQTEK SEM5000X é um FESEM de resolução ultra-alta com design de coluna óptica eletrônica otimizado, reduzindo as aberrações gerais em 30%, alcançando resolução ultra-alta de 0,6 nm@15 kV e 1,0 nm@1 kV . Sua alta resolução e estabilidade o tornam vantajoso na pesquisa avançada de materiais nanoestruturais, bem como no desenvolvimento e fabricação de chips IC semicondutores de nó de alta tecnologia.

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ⶠÓptica Eletrônica

SEM5000X Electron Optics

Atualização da lente objetiva

A aberração cromática da lente foi reduzida em 12%, a aberração esférica da lente foi reduzida em 20% e a aberração geral foi reduzida em 30%.

SEM5000X Electron Optics

Tecnologia de desaceleração de feixe duplo

Desaceleração do feixe na lente, aplicável a amostras com grandes volumes, seções transversais e superfícies irregulares. A tecnologia de desaceleração dupla (desaceleração do feixe na lente + desaceleração do feixe tandem do estágio da amostra) desafia os limites dos cenários de captura de sinal na superfície da amostra.

ⶠImagens de baixa tensão e alta resolução

ⶠDetector/amostra de elétrons na lente

ⶠDetector Everhart-Thornley (ETD)

ⶠDetector retrátil de elétrons retroespalhados (BSED) *Opcional

FESEM Retractable Back-Scattered Electron Detector (BSED)

ⶠModo ECCI baseado em BSED (Electron Channeling Contrast Imaging)

O "efeito de canalização de elétrons" refere-se a uma redução significativa no espalhamento de elétrons pelas redes cristalinas, quando o feixe de elétrons incidente satisfaz a condição de difração de Bragg, permitindo que um grande número de elétrons passe através da rede, exibindo assim uma "canalização" efeito.

Para materiais policristalinos com composição uniforme e superfícies planas polidas, a intensidade dos elétrons retroespalhados depende da orientação relativa entre o feixe de elétrons incidente e os planos do cristal. Grãos com maior variação de orientação exibem sinais mais fortes, portanto imagens mais brilhantes, a caracterização qualitativa com tal mapa de orientação de grãos é alcançada.

ⶠImagem multicanal simultânea por meio de vários detectores

ⶠDetector retrátil de microscopia eletrônica de transmissão de varredura (STEM)

FESEM Retractable Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM) Detector

Vários modos de operação: Imagem de campo claro (BF), Imagem de campo escuro (DF), Imagem de campo escuro anular de alto ângulo (HAADF)

ⶠAvanços na microscopia eletrônica CIQTEK - Mais opções

Espectrometria Dispersiva de Energia

  • Energy Dispersive Spectrometry

Catoluminescência

  • sem image analysis -Catholuminescence
  • sem image analysis - Catholuminescence

EBSD

  • sem EBSD
  • sem EBSD

ⶠSoftware de análise de partículas e poros (partículas) *Opcional

SEM Particle & Pore Analysis Software (Particle)

O software CIQTEK SEM Microscope emprega vários algoritmos de detecção e segmentação de alvos, adequados para diferentes tipos de amostras de partículas e poros. permite a análise quantitativa de estatísticas de partículas e poros e pode ser aplicado em áreas como ciência dos materiais, geologia e ciências ambientais.

ⶠSoftware de pós-processamento de imagem *Opcional

SEM Microscope Image Post-processing Software

Realize pós-processamento de imagem on-line ou off-line em imagens capturadas por microscópios eletrônicos e integre funções de processamento de imagem EM comumente usadas, medição conveniente e ferramentas de anotação.

ⶠMedição automática *Opcional

SEM Microscope software Auto Measure

Reconhecimento automático das bordas da largura da linha, resultando em medições mais precisas e maior consistência. Suporta vários modos de detecção de bordas, como Linha, Espaço, Pitch, etc. Compatível com vários formatos de imagem e equipado com várias funções de pós-processamento de imagem comumente usadas. O software é fácil de usar, eficiente e preciso.

ⶠKit de desenvolvimento de software (SDK) *Opcional

SEM Microscope Software Development Kit (SDK)

Forneça um conjunto de interfaces para controlar o microscópio SEM, incluindo aquisição de imagem, configurações de condições operacionais, ligar/desligar, controle de estágio, etc. Definições concisas de interface permitem o rápido desenvolvimento de scripts e software específicos de operação de microscópio eletrônico, permitindo rastreamento automatizado de regiões de interesse, aquisição de dados de automação industrial, correção de desvio de imagem e outras funções. Pode ser usado para desenvolvimento de software em áreas especializadas, como análise de diatomáceas, inspeção de impurezas de aço, análise de limpeza, controle de matérias-primas, etc.

ⶠAutoMap *Opcional

FESEM Microscope software Auto Measure

Especificações do microscópio CIQTEK SEM5000X FESEM
Óptica Eletrônica Resolução 0,6 nm a 15 kV, SE
1,0 nm a 1 kV, SE
Tensão de aceleração 0,02kV ~30kV
Ampliação 1 ~ 2.500.000 x
Tipo de canhão eletrônico Pistola de elétrons de emissão de campo Schottky
Câmara de Amostras Câmeras Câmeras duplas (navegação óptica + monitor de câmara)
Tipo de estágio Estágio de amostra eucêntrica mecânica de 5 eixos
Faixa de Estágio X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm
T: -10*~+70°, R: 360°
Detectores e extensões SEM Padrão Detector na lente
Detector Everhart-Thornley (ETD)
Opcional

Detector retrátil de elétrons retroespalhados (BSED)

Detector de Microscopia Eletrônica de Transmissão de Varredura Retrátil (STEM)

Detector de Baixo Vácuo (LVD)

Espectrômetro Dispersivo de Energia (EDS / EDX)

Padrão de difração de retroespalhamento de elétrons (EBSD)

Loadlock para troca de amostras (4 polegadas / 8 polegadas)

Painel de controle do trackball e botão

Modo Duo-Dec (Duo-Dec)
Interface do usuário Idiomas Inglês
Sistema Operacional Janelas
Navegação Navegação Óptica, Navegação Rápida por Gestos, Trackball (opcional)
Funções Automáticas Brilho e contraste automáticos, foco automático, estigma automático

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