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CIQTEK is the manufacturer and global supplier of high-value scientific instruments, such as Scanning Electron Microscopes (SEM and FIB-SEM), Electron Paramagnetic Resonance (Electron Spin Resonance) Spectroscopy, Scanning NV Probe Microscope, Gas Adsorption Analyzer, etc.
sem electron microscope

SEM de alta velocidade | HEM6000

Microscópio eletrônico de varredura de alta velocidade para imagens em escala cruzada de espécimes de grande volume

Tecnologias de instalações CIQTEK HEM6000, como pistola de elétrons de corrente de feixe grande de alto brilho, sistema de deflexão de feixe de elétrons de alta velocidade, desaceleração de estágio de amostra de alta tensão, eixo óptico dinâmico e lentes objetivas combinadas eletromagnéticas e eletrostáticas de imersão para alcançar alta -acelera a aquisição de imagens, garantindo resolução em nanoescala.

O processo de operação automatizado foi projetado para aplicações como um fluxo de trabalho de imagem de alta resolução em grandes áreas mais eficiente e inteligente. A velocidade de imagem pode atingir mais de 5 vezes mais rápida do que um microscópio eletrônico de varredura de emissão de campo convencional (fesem).

Sistemas Eletro-Ópticos Resolução 1,3 nm3 kV, SE; 2,2 nm @ 1 kV, SE
1,9 nm a 3 kV, BSE; 3,3 nm@1 kV, BSE
Ampliação 66 - 1.000.000x
Tensão de aceleração 0,1 kV - 6 kV (modo de desaceleração)
6 kV - 30 kV (modo sem desaceleração)
Arma de elétrons Pistola de elétrons de emissão de campo Schottky de alto brilho
Tipo de lente objetiva Lente objetiva combinada eletromagnética e eletrostática de imersão
Sistema de carregamento de amostras Sistema de vácuo Sistema de vácuo isento de óleo totalmente automático
Monitoramento de Amostras Câmera de monitoramento da câmara principal horizontal; câmera de monitoramento de câmara de trava de carga para troca de amostra vertical
Tamanho máximo da amostra 4 polegadas de diâmetro
Estágio da amostra
Tipo Estágio de amostra motorizado de 3 eixos (*estágio de amostra acionado piezoelétrico opcional)
Alcance de viagem X, Y: 110 mm; Z: 28mm
Repetibilidade X: ±0,6 μm; Y: ±0,3 μm
Troca de amostras
Totalmente automático
Duração da troca de amostras ï¼15 min
Limpeza da câmara de bloqueio de carga Sistema de limpeza de plasma totalmente automático
Aquisição e processamento de imagens Tempo de permanência 10ns/pixel
Velocidade de aquisição 2*100 M pixels/s
Tamanho da imagem 8K*8K
Detector e Acessórios
Configuração Padrão Detector de elétrons na lente
Configuração opcional
Detetor de elétrons retroespalhados de baixo ângulo
Detetor de elétrons retroespalhados de alto ângulo em coluna
Estágio de amostra com acionamento piezoelétrico
Modo FOV grande de alta resolução (SW)
Sistema de limpeza de plasma da câmara Loadlock
Sistema de carregamento de amostras de 6 polegadas
Plataforma antivibração ativa
Redução de ruído de IA; costura de campo de grande área; Reconstrução 3D
Interface do usuário
Idioma Inglês
SO Janelas
Navegação Navegação óptica, navegação rápida por gestos
Função automática Reconhecimento automático de amostra, seleção automática de área de imagem, brilho e contraste automáticos, foco automático, estigma automático
  • Automação de alta velocidade
    Processo de carregamento e descarregamento de amostra totalmente automático e operação de aquisição de imagem, o que torna a velocidade geral de imagem 5 vezes mais rápida do que a do FESEM convencional
  • Grande campo de visão
    Tecnologia que muda dinamicamente o eixo óptico de acordo com a faixa de deflexão da varredura, alcança distorção mínima da borda
  • Baixa distorção de imagem
    A tecnologia de desaceleração em tandem do estágio de amostra atinge baixa energia de pouso, enquanto obtém imagens de alta resolução

High Speed SEM HEM6000

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