CIQTEK SEM5000X é um microscópio eletrônico de varredura de emissão de campo de resolução ultra-alta (FE-SEM) com resolução inovadora de 0,6 nm a 15 kV e 1,0 nm a 1 kV.
Beneficiando-se do processo de engenharia de coluna atualizado, da tecnologia “SuperTunnel” e do design de lentes objetivas de alta resolução, o SEM5000X pode obter melhorias adicionais na resolução de imagens de baixa tensão. As portas da câmara de amostra se estendem até 16, e a trava de carga para troca de amostra suporta tamanhos de wafer de até 8 polegadas (diâmetro máximo de 208 mm), expandindo bastante as aplicações. cobertura. Os modos de digitalização avançados e as funções automatizadas aprimoradas proporcionam um desempenho mais forte e uma experiência ainda mais otimizada.
(*Acessórios opcionais)
Parâmetros principais | Resolução | 0,6 nm a 15 kV, SE 1,0 nm a 1 kV, SE |
Tensão de aceleração | 20 V ~ 30 kV | |
Ampliação | 1 ~ 2.500.000x | |
Tipo de arma de elétrons | Pistola de elétrons de emissão de campo Schottky | |
Câmara de Amostras |
Sistema de vácuo
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Controle Totalmente Automatizado |
Câmeras | Câmeras Duplas (navegação óptica + monitor de câmara) | |
Tipo de palco | Estágio de amostra eucêntrica mecânica de 5 eixos | |
Faixa de palco | X=110mm, Y=110mm, Z=65mm T: -10*~+70°, R: 360° |
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Detectores e extensões | Padrão | Detector na lente Detector Everhart-Thornley (ETD) |
Opcional | Detector retrátil de elétrons retroespalhados (BSED) Detector retrátil de microscopia eletrônica de transmissão de varredura (STEM) Espectrômetro Dispersivo de Energia (EDS) Padrão de difração retroespalhado de elétrons (EBSD) Loadlock de troca de amostra (4 & 8 " opcional) Trackball e Painel de controle do botão Desaceleração Tandem da Etapa da Amostra Campo magnético e campo magnético Sistema de gabinete de ruído acústico (certificado SEMI) |
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Programas | línguas | Inglês |
Sistema operacional | janelas |
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Navegação | Nav-Cam, navegação rápida por gestos |
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Funções Automáticas | Brilho automático e brilho automático Contraste, foco automático, estigma automático |